ULPAフィルタはHEPAフィルタグレードよりも更に小さな空気中の埃、塵をろ過するために用いられます。

処理風量はフルサイズ(610W610H)の場合の処理風量を表しています。

製品型式 性能




(計数法)













(%) (μm) (m3/min) (Pa) (Pa) (mm)
3541 99.999 0.1~0.2 11.2 200 52
3441 99.999 0.1~0.2 19.0 250 68
3841 99.999 0.1~0.2 19.0 220 86
3941 99.999 0.1~0.2 19.0 190 100
3542 99.999 0.1~0.2 11.2 170 52
3442 99.999 0.1~0.2 19.0 210 68
3842 99.999 0.1~0.2 19.0 185 86
3942 99.999 0.1~0.2 19.0 160 100
1546-14 99.999 0.1~0.2 56.6 250 500 292
1546-12 99.99 0.1~0.2 56.6 300 500 292