ULPAフィルタ
ULPAフィルタはHEPAフィルタグレードよりも更に小さな空気中の埃、塵をろ過するために用いられます。
処理風量はフルサイズ（６１０W６１０H）の場合の処理風量を表しています。
| 製品型式 | 性能 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 捕 集 効 率 （計数法） |
対 象 粒 子 |
処 理 風 量 |
初 期 圧 損 |
最 終 圧 損 |
厚 み |
|
| (%) | (μm) | (m3/min) | (Pa) | (Pa) | (mm) | |
| 3541 | 99.999 | 0.1～0.2 | 11.2 | 200 | ― | 52 |
| 3441 | 99.999 | 0.1～0.2 | 19.0 | 250 | ― | 68 |
| 3841 | 99.999 | 0.1～0.2 | 19.0 | 220 | ― | 86 |
| 3941 | 99.999 | 0.1～0.2 | 19.0 | 190 | ― | 100 |
| 3542 | 99.999 | 0.1～0.2 | 11.2 | 170 | ― | 52 |
| 3442 | 99.999 | 0.1～0.2 | 19.0 | 210 | ― | 68 |
| 3842 | 99.999 | 0.1～0.2 | 19.0 | 185 | ― | 86 |
| 3942 | 99.999 | 0.1～0.2 | 19.0 | 160 | ― | 100 |
| 1546-14 | 99.999 | 0.1～0.2 | 56.6 | 250 | 500 | 292 |
| 1546-12 | 99.99 | 0.1～0.2 | 56.6 | 300 | 500 | 292 |