気中パーティクルカウンター(気中微粒子計測器)

パーティクルカウンター(微粒子計測器)とは、空気中や液体中にある埃や不純物などの微粒子を計数する計測器のことです。微粒子計測器の流路を通過する微粒子にレーザー光が当たると散乱光を発します。その微粒子からの光の散乱の強さを測り、大きい粒子ほど散乱光は強くなります。その粒子の大きさに比例した光強度を電気信号(パルス)として読み取り大きさを判定します。粒子の個数は電気信号の数で判定します。主にクリーンルームで使われ、その空気清浄度を測定するために用いられます。

 

弊社ではハンドヘルドタイプからポータブルタイプまで取り揃えており、ご要望に応じてセンサー多点式でリアルタイムに常時監視するシステムの構築までお手伝いさせて頂きます。

センサー多点式のシステム構築例

多点モニタリング構成図

パーティクルカウンター関連規格

光散乱式気中粒子計数器-校正方法及び検証方法
JIS B 9921(日本工業規格)/ ISO 21501-4(国際標準化機構)

クリーンルームの清浄度規格
ISO 14644-1:2015(国際標準化機構)

パーティクルカウンターは、JIS B 9921 に定められた性能を満たさなければなりません。 校正は性能を満たすために行う作業でもあり、合格範囲に入るよう調整または、その確認をするものです。

気中パーティクルカウンターの製品群

スタンドアロンタイプ

型式 形状
(用途)
粒径 試料流量 最大可測
粒子濃度
(μm) (L/min) (個/28.3L)
9110 ポータブル 0.1~5.0 28.3 100,000
9310 0.3~10.0 820,000
9350 0.3~10.0
0.3~5.0
50 710,000
9510 0.5~10.0 28.3 820,000
9550 50 710,000
9500 100 420,000
9303 ハンドヘルド 0.3~5.0 2.83 5,950,000
9306-V2 0.3~10.0 5,950,000

常時モニタリング用個別センサー / アナログ通信用

型式 形状
(用途)
粒径 試料流量 最大可測
粒子濃度
(μm) (L/min) (個/28.3L)
6310 ポンプ内蔵タイプ 0.3~10.0 28.3 821,000
6510 0.5~5.0 821,000
6510-VHP 0.5~5.0 821,000
7310-A3F ポンプ外付タイプ 0.3~5.0 128,000
7510-A2F 0.5~5.0 340,000
7201-A2F 0.2~1.0 2.83 1,160,000
7301-A2F 0.3~5.0 3,400,000
7501-A2F 0.5~5.0 3,400,000

常時モニタリング用個別センサー / デジタル通信用

型式 形状
(用途)
粒径 試料流量 最大可測
粒子濃度
(μm) (L/min) (個/28.3L)
6310 ポンプ内蔵タイプ 0.3~1.0 28.3 821,000
6510 0.5~5.0 821,000
6510-VHP 0.5~5.0 821,000
7310-01F ポンプ外付タイプ 0.3~5.0 128,000
7310-03F 0.3~5.0 128,000
7510-01F 0.5~0.5 340,000
7510-02F 0.5~5.0 340,000
7110-05 0.1~5.0 100,000
7201-02F 0.2~1.0 2.83 1,160,000
7201-03F 0.3~0.5 1,160,000
7201-04F 0.2~2.0 1,160,000
7301-01F 0.3~5.0
0.3~5.0
3,400,000
7501-01F 0.5~5.0
0.5~5.0
3,400,000